طريقة تصنيع الركيزة الزجاجية TFT-LCD الجزء الثاني

ما يلي هو فقط وصف تقنيات العملية الثلاث المذكورة أعلاه على النحو التالي:

(1) طريقة التعويم:

إنها تكنولوجيا تصنيع الزجاج المسطح الأكثر شهرة في الوقت الحاضر. تقوم هذه الطريقة بنقل عجينة الزجاج المنصهر في الفرن إلى طبقة القصدير السائل. بسبب اللزوجة المنخفضة، يمكن التحكم في سمك الزجاج عن طريق لوحة الحاجز أو قضيب الربط. مع زيادة عجينة الزجاج، يتم تقوية عجينة الزجاج تدريجيًا إلى زجاج مسطح، ومن ثم يتم إخراج اللوحة الزجاجية الصلبة بواسطة عجلة التوجيه، ومن ثم يتم تشكيلها عن طريق إجراءات ما بعد المعالجة مثل التلدين والقطع.

عند استخدام طريقة الطفو لإنتاج زجاج مسطح رقيق جدًا، فمن الضروري التحكم في معدل تغذية معجون الزجاج المنخفض. أولاً، يجب تبريد الشريط الزجاجي (R ibbon) الذي يدخل طبقة القصدير إلى حوالي 700 درجة مئوية. في هذا الوقت، تبلغ لزوجة الشريط الزجاجي حوالي 108 بويز (بويز؛ 1 بويز = 1 جم / سم• ثانية)، ثم استخدم بكرة الحافة لسحب المعجون الزجاجي العائم على القصدير السائل، وبعد ذلك يتم مده للخارج، يتم تسخين الشريط الزجاجي إلى 850 درجة مئوية، ويتم تطبيق القوة الخارجية باستخدام بكرة الناقل التي يتم سحبها.

تعتمد تقنية عملية التعويم طريقة الرصاص الأفقية، لذلك من السهل استخدام خط الإنتاج الأفقي المطول لتلبية متطلبات التلدين. السبب الرئيسي وراء عدم استخدام تكنولوجيا عملية التعويم على نطاق واسع في إنتاج الزجاج المسطح فائق النحافة بسماكة أقل من 2 مم هو أنها لا تستطيع تحقيق النطاق الاقتصادي المطلوب. على سبيل المثال، يمكن للإنتاج اليومي لتكنولوجيا التعويم أن يلبي تقريبًا الاستهلاك الشهري لسوق تايوان الحالي؛ إذا تم استخدام تقنية الطفو لإنتاج زجاج مسطح فائق النحافة، فسيتم إنتاجه بشكل عام في فرن خزان متقطع (D a yTank). لذلك، من المهم جدًا تحسين تصميم الفرن ذو الفتحات.

(2) طريقة الرسم لأسفل بفتحة التدفق: بقدر ما يتعلق الأمر بالزجاج المسطح فائق النحافة المطلوب للألواح المسطحة عرض تي اف تي نشعر بالقلق، العديد من الشركات المصنعة تستخدم طريقة السحب لأسفل ثقب التدفق للإنتاج. تستخدم هذه الطريقة عجينة زجاجية متجانسة منخفضة اللزوجة لإدخال البلاتين في أخدود جلبة الفتحة المصنوعة من السبائك، ويتم التحكم في سمك الزجاج بواسطة قوة الجاذبية وقوة السحب وحجم فتحة القالب. تحدد درجة الحرارة وحجم الفتحة معًا مخرجات الزجاج، ويحدد حجم فتحة التدفق وسرعة السحب معًا سمك الزجاج، ويحدد توزيع درجة الحرارة التواء الزجاج.

يمكن أن تنتج عملية السحب السفلي للفوهة ما بين 5 إلى 20 طنًا متريًا من الزجاج المسطح فائق النحافة بسماكة 0.0 3 ~ 1.1 ملم يوميًا. نظرًا لأن معدن البلاتين لا يمكنه تحمل الضغط الميكانيكي العالي، فإن معظم القوالب المصنوعة من سبائك البلاتين تستخدم بشكل عام. ومع ذلك، غالبًا ما تتشوه الفتحة عندما تتعرض لقوى خارجية، مما يؤدي إلى عدم تساوي السماكة واستواء السطح الذي لا يتوافق مع المواصفات. عيوبه.

يجب أن يتم تلدين طريقة السحب لأسفل لثقب التدفق في الاتجاه الرأسي. إذا تم تحويله إلى الاتجاه الأفقي، فقد يؤدي ذلك إلى زيادة الاتصال بين السطح الزجاجي والأسطوانة والتشويه الناتج عن النقل الأفقي، مما يؤدي إلى زيادة كبيرة في معدل الخلل. مثل هذه المخاوف تجعل بناء الفرن يجب أن يعتمد تصميمًا ذو أسقف عالية، وفي الوقت نفسه يجب مراعاة الارتفاع المطلوب للتليين بدقة، مما يزيد بشكل كبير من صعوبة المشروع وينعكس أيضًا على تكلفة بناء الفرن. نبات.

(3) طريقة ذوبان الفائض:

يتم استخدام مضخة دمج طويلة الشكل (Fusion Pump) لنقل معجون الزجاج المنصهر إلى مركز مضخة الدمج، ومن ثم استخدام طريقة الفائض لنقل معجونين زجاجيين فائضين إلى مركز المضخة. يتم دمج الجزء السفلي في زجاج مسطح رفيع للغاية.

يتطلب استخدام تقنية التشكيل هذه أيضًا قالبًا ثقيلًا، لذا يواجه قالب المضخة المنصهرة أيضًا مشاكل التشوه بسبب الإجهاد الميكانيكي، والحفاظ على مستوى المضخة المنصهرة، وكيفية دفع عجينة الزجاج المنصهر بشكل ثابت إلى المضخة المنصهرة. لأن سمك وجودة السطح الزجاجي للزجاج المسطح الفائق المصنوع بطريقة الصهر الفائض يتم تحديدها من خلال كمية عجينة الزجاج التي يتم تسليمها إلى مضخة الصهر، واستقرارها، واستوائها، وخصائص سطح المضخة، والجودة. من الزجاج.

يمكن لتقنية تجاوز الدمج أن تنتج ركائز زجاجية رفيعة للغاية ذات أسطح زجاجية أصلية مزدوجة. بالمقارنة مع طريقة الطفو (يمكن إنتاج سطح زجاجي أصلي واحد فقط) وطريقة السحب لأسفل بفتحة التدفق (التي لا يمكنها إنتاج أسطح زجاجية أصلية)، يمكنها تجنب عمليات ما بعد المعالجة مثل الطحن أو التلميع. وفي الوقت نفسه، في عملية تصنيع شاشات العرض المسطحة، ليست هناك حاجة إلى الاهتمام بالاختلاف في خصائص السطح الزجاجي بسبب الأسطح الزجاجية الأصلية واختلاف الأسطح الزجاجية التي تتلامس مع القصدير السائل أو الطحن وسائط. وهكذا، أصبح الاتجاه السائد لتشكيل الزجاج المسطح الرقيق للغاية.