مبدأ تصنيع TFT وعملية التصنيع البسيطة الجزء الأول

ما هي تقنية TFT-LCD؟ TFT-LCD هو اختصار لشاشة العرض البلورية السائلة الترانزستور ذات الأغشية الرقيقة (شاشة العرض البلورية السائلة الترانزستور ذات الأغشية الرقيقة) كيف تضيء شاشة TFT-LCD؟ ببساطة ، أ شاشة TFT LCD يمكن اعتبارها طبقة من الكريستال السائل محصورة بين ركيزتين زجاجيتين. يتم دمج الركيزة الزجاجية العلوية مع مرشح اللون ، بينما يتم دمج الزجاج السفلي مع الترانزستورات. عندما يمر التيار عبر الترانزستور ، يتغير المجال الكهربائي ، مما يتسبب في انحراف جزيئات الكريستال السائل ، وبالتالي تغيير استقطاب الضوء ، ثم استخدام المستقطب لتحديد حالة الضوء والحالة المظلمة للبكسل. بالإضافة إلى ذلك ، يتم تصفيح الزجاج العلوي بفلتر الألوان لتشكيل كل بكسل (بكسل) يحتوي على ثلاثة ألوان من الأحمر والأزرق والأخضر. هذه البيكسلات الحمراء والزرقاء والخضراء تشكل الصورة على اللوحة. العمليات الرئيسية الثلاث لشاشة TFT-LCD: العمليات الرئيسية الثلاث: المصفوفة الأمامية تشبه عملية المصفوفة الأمامية عملية أشباه الموصلات ، لكن الاختلاف هو أن ترانزستورات الأغشية الرقيقة مصنوعة على الزجاج بدلاً من رقائق السيليكون. الخلية الوسطى الخلية الموجودة في القسم الأوسط هي الركيزة الزجاجية للصفيف السابق ، جنبًا إلى جنب مع الركيزة الزجاجية لمرشح اللون ، ويتم سكب الكريستال السائل (LC) بين الركائز الزجاجية. تجميع الوحدة النمطية الوحدة النمطية الخلفية عملية تجميع الوحدة الخلفية هي عملية الإنتاج لتجميع الزجاج بعد عملية الخلية مع مكونات أخرى مثل لوحات الإضاءة الخلفية والدوائر والإطارات الخارجية.

مبدأ تصنيع TFT وعملية التصنيع البسيطة

العملية الرئيسية ثلاثية المراحل لشاشة TFT-LCD:

الأول هو الجبهة المصفوفة

تشبه عملية المصفوفة في الجزء السابق عملية أشباه الموصلات ، ولكن الاختلاف هو أن ترانزستورات الأغشية الرقيقة تُصنع على الزجاج بدلاً من رقائق السيليكون.

ثم الخلية الوسطى

الخلية الموجودة في القسم الأوسط عبارة عن زجاج الصفيف للقسم السابق باعتباره الركيزة ، جنبًا إلى جنب مع الركيزة الزجاجية لمرشح الألوان ، ويتم سكب الكريستال السائل (LC) بين الركائز الزجاجية.

أخيرًا ، الجزء الأخير من تجميع الوحدة (تجميع الوحدة النمطية)

تتمثل عملية تجميع الوحدة الخلفية في تجميع الزجاج وإنتاجه بعد عملية الخلية والمكونات الأخرى مثل الدوائر والإطارات والإضاءة الخلفية وما إلى ذلك.

1. عملية تصنيع الصفيف (مجموعة)

1) قطعة من الزجاج بسطح أملس وخالية من الشوائب هي المادة الخام الأكثر أهمية لصنع ركائز زجاجية TFT. قبل التحضير ، تحتاج إلى غسل الزجاج بمنظف خاص ، ثم تجفيفه وتجفيفه.

2) لطلاء الركيزة الزجاجية بفيلم معدني ، يجب وضع المادة المعدنية في حجرة التفريغ ، وبعد أن يولد الغاز الخاص على المعدن البلازما ، ستضرب الذرات الموجودة على المعدن بالزجاج ، ثم سيتم تشكيل طبقة من الطبقات. فيلم معدني أيضًا.

3) بعد طلاء الفيلم المعدني ، نحتاج أيضًا إلى صفيحة طبقة غير موصلة وطبقة شبه موصلة. في غرفة التفريغ ، يتم تسخين اللوح الزجاجي أولاً ، ثم يتم رش غاز خاص بواسطة بخاخ عالي الجهد للسماح للإلكترونات والغاز بتكوين البلازما ، وبعد تفاعل كيميائي ، طبقة غير موصلة وأشباه موصلات تتشكل طبقة على الزجاج.

4) بعد تشكيل الفيلم ، نحتاج إلى عمل نمط الترانزستور على الزجاج. أولاً ، ادخل غرفة الضوء الأصفر ورش المقاوم للضوء بحساسية عالية للغاية ، ثم ضع قناع ضوئي لإشعاع الضوء الأزرق البنفسجي للتعرض ، وأخيراً أرسل المطور إلى المنطقة النامية لرش المطور ، والذي يمكنه إزالة مقاوم الضوء بعد الضوء والسماح للضوء تتشكل طبقة المقاومة.

5) بعد تشكيل مقاوم الضوء ، يمكننا إجراء الحفر الرطب بالحفر لفضح الفيلم غير المجدي ، أو النقش الجاف بالتفاعل الكيميائي للبلازما. بعد النقش ، قم بإزالة مقاوم الضوء المتبقي بالسائل ، وأخيراً قم بإنشاء نمط الدائرة المطلوب للترانزستور.

6) لتكوين ترانزستورات رقيقة قابلة للاستخدام ، من الضروري تكرار عملية التنظيف ، والطلاء ، ومقاومة الضوء ، والتعرض ، والتطوير ، والحفر ، وإزالة مقاوم الضوء. بشكل عام ، لتصنيع TFT-LCD ، من الضروري التكرار من 5 إلى 7 مرات.