مبدأ تصنيع TFT وعملية التصنيع البسيطة الجزء الأول

ما هو TFT-LCD؟ TFT-LCD هو اختصار لشاشة عرض الكريستال السائل بترانزستور الأغشية الرقيقة (شاشة عرض الكريستال السائل بترانزستور الأغشية الرقيقة) كيف يضيء TFT-LCD؟ ببساطة، أ شاشة تي اف تي ال سي دي يمكن اعتبارها طبقة من الكريستال السائل محصورة بين ركيزتين زجاجيتين. يتم دمج الركيزة الزجاجية العلوية مع مرشح الألوان، بينما يتم دمج الزجاج السفلي مع الترانزستورات. عندما يمر التيار عبر الترانزستور، يتغير المجال الكهربائي، مما يتسبب في انحراف جزيئات البلورة السائلة، وبالتالي تغيير استقطاب الضوء، ومن ثم استخدام المستقطب لتحديد الحالة الفاتحة والداكنة للبكسل. بالإضافة إلى ذلك، فإن الزجاج العلوي مصفح بفلتر الألوان ليشكل كل بكسل (Pixel) يحتوي على ثلاثة ألوان هي الأحمر والأزرق والأخضر. تشكل هذه البكسلات الحمراء والزرقاء والخضراء الصورة على اللوحة. العمليات الثلاث الرئيسية لـ TFT-LCD: العمليات الثلاث الرئيسية: المصفوفة الأمامية تشبه عملية المصفوفة الأمامية عملية أشباه الموصلات، لكن الفرق هو أن الترانزستورات ذات الأغشية الرقيقة تُصنع على الزجاج بدلاً من رقائق السيليكون. الخلية الوسطى الخلية الموجودة في القسم الأوسط هي الركيزة الزجاجية للمصفوفة السابقة، مدمجة مع الركيزة الزجاجية لمرشح الألوان، ويتم صب الكريستال السائل (LC) بين الركيزتين الزجاجيتين. تجميع الوحدة تجميع الوحدة الخلفية عملية تجميع الوحدة الخلفية هي عملية إنتاج لتجميع الزجاج بعد عملية الخلية مع مكونات أخرى مثل لوحات الإضاءة الخلفية والدوائر والإطارات الخارجية.

 مبدأ تصنيع TFT وعملية التصنيع البسيطة

 العملية الرئيسية المكونة من ثلاث مراحل لـ TFT-LCD:

الأول هو المصفوفة الأمامية

تشبه عملية المصفوفة في الجزء السابق عملية أشباه الموصلات، ولكن الفرق هو أن الترانزستورات ذات الأغشية الرقيقة يتم تصنيعها على الزجاج بدلاً من رقائق السيليكون.

ثم الخلية الوسطى

الخلية الموجودة في القسم الأوسط هي زجاج المصفوفة من القسم السابق كركيزة، جنبًا إلى جنب مع الركيزة الزجاجية لمرشح اللون، ويتم سكب الكريستال السائل (LC) بين الركائز الزجاجية.

أخيرًا، الجزء الأخير من تجميع الوحدة (تجميع الوحدة)

تتمثل عملية تجميع الوحدة الخلفية في تجميع وإنتاج الزجاج بعد عملية الخلية والمكونات الأخرى مثل الدوائر والإطارات والمصابيح الخلفية وما إلى ذلك.

1. عملية تصنيع المصفوفة (المصفوفة)

1) قطعة الزجاج ذات السطح الأملس والخالية من الشوائب هي المادة الخام الأكثر أهمية لصنع ركائز زجاج TFT. قبل التصنيع، تحتاج إلى غسل الزجاج بمنظف خاص، ثم تجفيفه وتجفيفه.

2) لتغليف الركيزة الزجاجية بغشاء معدني، يجب وضع المادة المعدنية في غرفة التفريغ، وبعد أن يولد الغاز الخاص الموجود على المعدن البلازما، سيتم ضرب الذرات الموجودة على المعدن على الزجاج، ثم سيتم تشكيل طبقة من الطبقات. فيلم معدني أيضا.

3) بعد طلاء الفيلم المعدني، نحتاج أيضًا إلى طلاء طبقة غير موصلة وطبقة شبه موصلة. في الحجرة المفرغة يتم تسخين الصفيحة الزجاجية أولا، ومن ثم يتم رش غاز خاص بواسطة بخاخ عالي الجهد ليسمح للإلكترونات والغاز بتوليد البلازما، وبعد التفاعل الكيميائي يتم تكوين طبقة غير موصلة وشبه موصلة تتشكل طبقة على الزجاج.

4) بعد تشكيل الفيلم، نحتاج إلى عمل نمط الترانزستور على الزجاج. أولاً، أدخل غرفة الضوء الأصفر ورش مقاوم الضوء بحساسية عالية للغاية، ثم ضع قناع الضوء لإشعاع الضوء الأزرق البنفسجي للتعرض، وأخيرًا أرسل المطور إلى المنطقة النامية لرش المطور، الذي يمكنه إزالة مقاوم الضوء بعد الضوء واترك الضوء يتشكل طبقة المقاومة.

5) بعد تشكيل مقاوم الضوء، يمكننا إجراء النقش الرطب مع النقش لكشف الفيلم عديم الفائدة، أو النقش الجاف مع التفاعل الكيميائي للبلازما. بعد الحفر، قم بإزالة مقاوم الضوء المتبقي بالسائل، وأخيرًا قم بإنشاء نمط الدائرة اللازمة للترانزستور.

6) لتكوين ترانزستورات ذات أغشية رقيقة قابلة للاستخدام، من الضروري تكرار عملية التنظيف، الطلاء، مقاوم الضوء، التعريض، التطوير، الحفر، وإزالة مقاوم الضوء. بشكل عام، لتصنيع TFT-LCD، من الضروري التكرار من 5 إلى 7 مرات.